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产品介绍

 

项目 8英寸参考值 6.5英寸
生长方法： CZ CZ
晶向： <100>±1.0。 <100>±1.0。
晶向偏离度： ≤1。 ≤1。
导电类型： P P
掺杂剂： B B
电阻率： 1-3 Ω.cm 1-3 Ω.cm
氧含量： ≤0.88×1018atoms/cm3 ≤0.88×1018atoms/cm3
碳含量： ≤5×1016atoms/cm3 ≤5×1016atoms/cm3
位错密度： ≤2000个/cm2 ≤2000个/cm2
边长尺寸： 156*156±0.4mm（适用于方棒） 125*125±0.4mm（适用于方棒）
垂直度： 90。±0.3。 90。±0.3。
直径： ≥203mm（适用于销售用圆棒） ≥168mm（适用于销售用圆棒）
200±0.4mm(适用于方棒) 165±0.4mm(适用于方棒)
寿命： ≥15μs ≥15μs
弧宽度偏差（大小角）： ≤1mm（适用于方棒） ≤1mm（适用于方棒）
 
 
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